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制造垂直构造LED灯芯片有两种根本办法
一、剥离生长衬底;
二、不剥离生长衬底 。
其中生长在砷化镓生长衬底上的垂直构造GaP基LED灯芯片有两种构造:
一、不剥离导电砷化镓生长衬底:在导电砷化镓生长衬底上层迭导电DBR反射层,生长 GaP 基LED外延层在导电DBR反射层上。
二、剥离砷化镓生长衬底:层迭反射层在GaP基LED外延层上,键合导电支持衬底,剥离砷化镓衬底。导电支持衬底包括,砷化镓衬底,磷化镓衬底,硅衬底,金属及合金等。
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